制氧設(shè)備的發(fā)展歷程可以追溯到19世紀(jì)末期,當(dāng)時主要是通過物理方法將空氣中的氮氣和氧氣分離來制備高純度液態(tài)的氧。隨著科技的不斷發(fā)展進步,20世紀(jì)的初期出現(xiàn)了以分子篩為吸附劑的全自動化的工業(yè)制取氧氣的方法;在隨后的幾十年中又有了新的進展:人工合成氨、氫等氣體的大量生產(chǎn)和使用導(dǎo)致了大氣層中二氧化碳含量的增加以及臭氧層的破壞等一系列環(huán)境問題;到了二十一世界人們開始尋找能夠替代這些有害物質(zhì)的新能源技術(shù)并取得了一定的成果例如利用太陽能分解水產(chǎn)生大量可供人類使用的可再生燃料和水煤氣等等
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